凈化方案一:
組合式空氣處理機組+冷水機組+高效送風口
這是一個最傳統的凈化空調系統的設計方案。組合式空氣處理機組里含有各種功能段,如混合段、初效過濾段、表冷段、二次回風段(或中間段)、加熱段、加濕段、中效過濾段、風機段等。其冷源由冷水機組提供。
方案特點:
A.建議新風經過集中處理后再與回風混合,這樣可以減少表冷段的冷處理負擔;
C.這類方案一般可以適用潔凈度較高的如百級、千級或萬級、十萬級等較低的凈化無塵廠房。
凈化方案二:
水冷柜機+增壓風柜+高效送風口
與前種方案比較,這是相對比較簡單的空調方案。它可以大大地縮小機房的面積,水冷柜機可以根據具體的情況布置于較小機房內或凈化車間內,增壓風柜也可以布置于機房內或吊在機房內或在夾層內。
方案特點:
這種方案可以是一次回風也可以是二次回風,具體根據車間的大小情況而定;這類方案一般可以適用于潔凈度為千級、萬級、十萬級等的凈化無塵廠房。
凈化方案三:
分體空調柜機+FFU送風口
這是最簡易的一個空調方案。是直接將分體空調柜機布置于車間內,并用彩鋼圍護起來,在柜機回風口處再在彩鋼板上開回風口(帶初效過濾網);KLC風機過濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。這個方案適用于對室內溫濕度精度要求不高的無塵車間。
方案特點:
A、無塵車間的潔凈度:LCD制屏的簡略流程為:清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。
B、溫濕度要求:溫度一般為24+2℃,相對濕度為55+5%。
C、新風量大
D、送風量大
等級 | 等級說明及車間應用 |
1級 | 這個級別的無塵車間主要用于制造集成電路的微電子工 業,對集成電路的精確要求為亞微米 |
10級 | 這個級別的無塵車間主要用于帶寬小于2微米的半導體工業 |
100級 | 很多人認為,這一級無塵車間是最常用因而是最重要的無塵車間,人們常常錯誤地將100級潔凈室稱為無菌室,以說明“無菌”的或“無塵”的環境要求,100級無塵室可用于醫藥工業的無菌制造工藝等,這一潔凈室大量應用于,植如體內物品的制造,外科手術,包括移植手術,集成器的制造,那些對細菌感染特別敏感的病人的隔離治療,比如像骨髓移植病人術后的隔離治療 |
1000級 | 這個級別的無塵車間主要用于高質量光學產品的生產,還用于測試,裝配飛機蛇螺儀,裝配高質微型軸承等 |
10000級 | 萬級無塵車間用于液壓設備或氣壓設備的裝配,某些情況下也用于食品飲料工業,此外,萬級無塵車間在醫工業中也很常用 |
100000級 | 十萬級無塵車間用于很多的工業部門,比如光學產品的制造,用于較小的元器件制造大型的電子系統,液壓或氣壓系統的制造,食品飲料的生產,醫、藥工業也常常使用這一級無塵車間 |
潔凈室(區)空氣潔凈級別表
潔凈度級別 | 塵粒最大允許數/立方米≥0.5μm塵粒數 | ≥5μm塵粒數 | 微生物最大允許數浮游菌/立方米 | 沉降菌/皿 |
100級 | 3,500 | 0 | 5 | 1 |
10,000級 | 350,000 | 2,000 | 100 | 3 |
100,000級 | 3,500,000 | 20,000 | 500 | 10 |
300,000級 | 10,500,000 | 60,000 | 1000 | 15 |
光學微電子凈化工程換氣參數
換氣次數: | 100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次 | 壓差: | 主車間對相鄰房間≥5Pa |
平均風速: | 10級、100級0.3-0.5m/s | 溫度: | 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動±2℃ 溫度45-65% GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜 電子車間濕度略高以免產生靜電 |
噪聲: | ≤65dB(A) | ||
新風補充量: | 新風補充量是總送風量的10%-30% | ||
照度: | 300LX |
風淋室 | 超凈工作臺 | 傳遞窗 |
貨淋室 | 潔凈取樣車 | FFU |
高效送風口 | 凈化門窗 | 風幕機 |
快速卷簾門 | 臭氧發生器 | 感應式酒精手消毒器 |
初效過濾袋 | 高效過濾器 | 不銹鋼消毒水池 |
風量調節閥 | 可調回風口 | 凈化板材 |
凈化照明燈具 | 凈化鋁型材 | 紫外線殺菌燈 |
光學微電子凈化工程亦名無塵室或清凈室,目前已是半導體、精密制造、液晶制造、光學制造、線路板制造和生物化學、醫藥、食品制造等行業不可或缺的重要設施。近幾年來,由于技術之創新發展,對于產品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切,如超大型積體電路之研究制造,已成為世界各國在科技發展上極為重視的項目,而我公司的設計理念及施工技術在行業中則處于領先地位。
光學微電子凈化工程一般包括:
1、 潔凈生產區
2、 潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)
3、 管理區(包括辦公、值班、管理和休息等)
4、 設備區(包括凈化空調系統應用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設備用房)
光學微電子凈化工程結構材料:
1、 凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點為美觀、剛性強。圓弧墻 角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造。
2、 地面可采用環氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。
3、 送回風管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發泡塑膠板。
4、 高效送風口用不銹鋼框架,美觀清潔,沖孔網板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,宜清潔。
部分電子無塵凈化車間案例
建設單位名稱 | 工程概況 | 面積 | 凈化等級 |
宜興科興合金材料有限公司 | 汽車配件車間 | 800m2 | 十萬級 |
寧波吉品電子科技有限公司 | SMT組裝車間 | 1200m2 | 十萬級 |
拓普科技有限公司 | SMT組裝車間 | 2500m2 | 十萬級 |
江西華翔富奇汽車有限公司 | 配件組裝車間 | 980m2 | 十萬級 |
溫州揚升線路板廠 | 線路板加工 | 1800m2 | 十萬級 |
揚州虹揚科技有限公司 | 半導體 | 1200m2 | 十萬級 |
寧波韻升集團 | 模具生產車間 | 350m2 | 一萬級 |
蘇州鋇太科技有限公司 | 電子裝配車間 | 1600m2 | 十萬級 |
浙江德業集團(1)期 | SMT生產車間 | 1800m2 | 十萬級 |
浙江德業集團(2)期 | SMT生產車間 | 300m2 | 十萬級 |
品吉電子有限公司 | 光纖生產車間 | 150m2 | 一萬級 |
浙江艾梯奇燈具廠 | 光電車間 | 650m2 | 一萬級 |
溫州揚升線路板廠 | 線路板加工 | 220m2 | 一萬級 |
浙江科隆新能源科技有限公司 | 光電車間 | 650m2 | 一萬級 |
蘇州亞旭電子科技有限公司 | 半導體 | 130m2 | 一千級 |
寧波拓普科技有限公司 | SMT生產車間 | 1020m2 | 十萬級 |
江蘇志榮高科技有限公司 | 半導體 | 2000m2 | 十萬級 |